Correu electrònic

sale@njzlny.com

Tetrafluorida de carboni CAS 75-73-0

Tetrafluorida de carboni CAS 75-73-0

El tetrafluorur de carboni és el gas de gravat de les espelmes de plasma més utilitzat a la indústria de la microelectrònica . És una barreja de gas de gas i gas de carboni d'alta puresa amb oxigen d'alta puresa .}
Enviar la consulta
Descripció
Paràmetres tècnics

Tetrafluorida de carboni CAS 75-73-0

Nom del producte: Tetrafluorur de carboni Tetrafluorur de gas tetrafluorometà perfluorocarbon

Grau del producte: grau analític

Puresa del producte: 99,999%

Especificació de l'embalatge: 40L

Nom xinès: Tetrafluorur de carboni

Àlies xinesa: tetrafluorometà

CAS: 75-73-0

Einecs: 200-896-5

Fórmula molecular: CF4

Pes molecular: 88

Propietats físiques i químiques: - Punt de fusió: -184 grau

El tetrafluorur de carboni és el gas de gravat de les espelmes de plasma més utilitzat a la indústria de la microelectrònica . És una barreja de gas de gas i gas de carboni d'alta puresa amb oxigen d'alta puresa .}

1. Es pot utilitzar àmpliament en el gravat de les espelmes del silici, el diòxid de silici, el nitrur de silici, el vidre de silici de fòsfor i els materials de pel·lícula fina de tungstè . per a sistemes de silici i silici de silici, quan s'utilitzen CF 4- h2 reactiva. Gases, es pot obtenir una selectivitat de 45: 1, cosa que és molt útil per gravar pel·lícules de diòxid de silici a les portes de polisílic .

2. També s'utilitza àmpliament en la neteja de superfícies de dispositiu electrònic, producció de cèl·lules solars, tecnologia làser, aïllament en fase gasosa, refrigeració de baixa temperatura,

Agent de detecció de fuites, control de l’actitud del coet espacial i l’agent de descontaminació en la producció de circuits imprès .

3. A causa de la seva estabilitat química extremadament forta, CF4 també es pot utilitzar en indústries de fosa i plàstic de metall .

4. El tetrafluorur de carboni té una bona solubilitat en oxigen, de manera que els científics són utilitzats per substituir aire comprimit ordinari en experiments de busseig ultra profund . que s'ha utilitzat amb èxit en ratolins i els ratolins encara poden escapar amb seguretat a una profunditat de 275 a 366 metres .}

Etiquetes populars: Tetrafluorur de carboni CAS 75-73-0, CAS de tetrafluorur de carboni de la Xina 75-73-0 Fabricants, proveïdors, fàbrica